Rotameter

Ein Durchflussmesser besteht aus einem konischen Rohr, das von unten nach oben vom Chlorgas durchströmt wird. In diesem Konus befindet sich ein vertikal beweglicher Schwebekugel. Wenn der Vakuumregler ohne Messrohr ausgeführt wird, muss ein Rotameter zur präzisen Regelung und Messung von Gasmengen in das System eingebaut werden.